2021-12-17 0
半導體晶圓切割機主軸采用空氣靜壓支承的電主軸。現在所使用的主軸有兩類：分別是交流主軸，及直流主軸。
兩類主軸從結構上有以下區別：直流主軸電動機的結構和普通直流電動機的結構基本相同。
其主要區別是：在主磁極上除了繞有主磁極繞組外，還繞有補償繞組，以便抵消轉子反應磁動勢對氣隙主磁通的影響，改善電動機的調速性能;直流主軸電動機都采用軸向強迫通風冷卻或熱管冷卻，以改善冷卻效果。直流主軸電動機在基本速度以下為恒轉矩范圍，在基本速度以上為恒功率范圍，直流主軸主要采用晶體管脈寬調制調速系統調速，一般會裝有用于反饋的檢測元件。
而交流主軸電動機是經過專門設計的鼠籠三相異步電動機。與直流主軸電動機相類似，在基本速度以下為恒轉矩區，在基本速度以上為恒功率區。當速度超過一定值后，功率-速度特性曲線會向下傾斜。交流主軸電動機廣泛采用矢量控制調速方法進行速度控制。由于結構上的差別造成直流主軸的轉速控制精度較高（通過反饋補償轉速），主軸工作時震動量較小，劃切效果較好，但其扭矩相對同功率交流主軸偏小，對較厚、硬的玻璃、陶瓷和鍵和材料劃切，切削力不足。
其切割領域主要針對硅晶圓，砷化鎵，氧化物晶圓等。交流主軸扭矩較大，震動偏大，主要針對LED基板、生陶瓷、新型電子封裝等較硬，精度要求不高的產品加工。
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