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劃片機
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BJX3356 晶圓劃片機

晶圓劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

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產(chǎn)品詳情

晶圓劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

產(chǎn)品介紹:

● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

● 高剛性龍門式結構

● T軸旋轉軸采用DD馬達

● 進口超高精密級滾柱型導軌

● 進口超高精密滾珠型絲桿

● CCD雙鏡頭自動影像系統(tǒng)

● 友好人機交互界面

● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實測0.9μm

● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

● 自動化程序著提升

● 滿足各種加工工藝需求


產(chǎn)品參數(shù):

項目

產(chǎn)品型號

BJX3356晶圓劃片機


加工尺寸

≥?305mm/280mm×280mm

X軸

最大速度

600mm/s

直線度

2μm全行程

Y軸

有效行程

450

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z軸

有效行程

40mm

單步步盡量

0.0001mm

最大刀輪直徑

60或定制

T軸

轉動角度范圍

380

主軸

最大轉速

60000rpm

額定輸出功率

直流1.8KW/2.4KW

 基礎規(guī)格

電源

220V/50Hz

壓縮空氣

0.5-0.6Mpa、Max220L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

排風流量

3m3/min

尺寸(mm)

1080×1181×1810

重量

1250KG


應用領域:

IC、QFN、DFN、LED基板、光通訊等行業(yè)

可切材料:

硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB、氮化鋁、鈮酸鋰、石英等


配件耗材:


樣品展示:

LX3356型晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機,采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩(wěn)定性極強,兼容6"-12"材料,雙CCD視覺系統(tǒng),性能達到業(yè)界一流水平


使用環(huán)境要求:

1.請使用大氣壓水汽結露點-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣

2.請將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2℃,水溫控制在室溫波動范圍±1℃

3.避免把設備放置在有震動的工作環(huán)境工作,遠離鼓風機、通風口、高溫裝置、油污等環(huán)境

4.室內(nèi)溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃

5.工廠具有防水性底板

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