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BJX3666A 雙軸半自動劃片機

BJX3666A 雙軸半自動劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。機型實現了晶圓從裝片、對準、切割、清洗到卸片的半自動化操作。該機型配置了大功率對向式雙主軸,Z1和Z2軸上都...
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產品詳情

BJX3666A 雙軸半自動劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 機型實現了晶圓從裝片、對準、切割、清洗到卸片的半自動化操作。該機型配置了大功率對向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對準和檢查時間,從而降低人工成本、提高生產效率。


產品介紹:

● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

● 高剛性龍門式結構

● T軸旋轉軸采用DD馬達

● 進口超高精密級滾柱型導軌

● 進口超高精密滾珠型絲桿

● CCD雙鏡頭自動影像系統

● 友好人機交互界面

● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線度,實測0.9μm

● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

● 自動化程序著提升

● 滿足各種加工工藝需求


產品參數:

項目

產品型號

BJX3666A雙軸半自動劃片機


加工尺寸

≤?360mm×360mm/定制

運動方式

雙軸對向式、半自動

X軸

最大速度

0.1-600mm/s

直線度

1.5μm全行程

Y軸

有效行程

310mm

定位精度

1μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z軸

有效行程

40mm

單步步盡量

0.0001mm

最大刀輪直徑

60mm或定制

T軸

轉動角度范圍

380

主軸

最大轉速

60000rpm/min

額定輸出功率

直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

 基礎規格

電源

三相AC220V/50Hz

壓縮空氣

0.5-0.6Mpa、Max320L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 8L/min

排風流量

10m3/min

尺寸(mm)

1590mm(W)×1500mm(D)×1800mm(H)

重量

1700kg


應用領域:

IC、QFN封裝、DFN封裝、BGA封裝、LED基板、光學光電、光通訊等行業

可切材料:

硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB板、氮化鋁、鈮酸鋰、石英等


配件耗材:


樣品展示:

BJX3666A 雙軸半自動劃片機采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩定性極強,兼容6"-12"材料,雙CCD視覺系統,性能達到業界一流水平。


使用環境要求:

1.請使用大氣壓水汽結露點-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣

2.請將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2℃,水溫控制在室溫波動范圍±1℃

3.避免把設備放置在有震動的工作環境工作,遠離鼓風機、通風口、高溫裝置、油污等環境

4.室內溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃

5.工廠具有防水性底板





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