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劃片機是一種用于切割晶圓(半導體材料)的設備

2023-08-05 0

劃片機是一種用于切割晶圓(半導體材料)的設備。以下是劃片機的一些系列:

  1. 精密劃片機:這種劃片機主要用于集成電路、太陽能電池、半導體器件、光學器件等行業的切割。精密劃片機采用高剛性龍門式結構,旋轉工作臺安裝在X軸上,采用DD馬達直接驅動的方式來實現旋轉運動,確?;剞D精度。機器可實現6、8、12英寸兼容,有效減少設備投入,從源頭上降低生產鏈成本。采用超高精密級滾柱型導軌和滾珠型絲桿,確保全程切割的每一刀,行走直線偏差值≤1.5μm,定位精度可達2μm全行程。

  2. 砂輪劃片機:主要用于切割硅基材料。砂輪劃片機的工作原理是利用高速旋轉的砂輪來切割硅片,其切片精度高、切縫小、效率高。

  3. 激光劃片機:激光劃片機使用激光技術來切割各種材料,包括半導體材料、玻璃、寶石等。激光劃片機具有精度高、損傷小、效率高等優點。

  4. 水刀劃片機:水刀劃片機使用高壓水流來切割各種材料,包括半導體材料、陶瓷、玻璃等。水刀劃片機的優點是切割精度高、無熱影響、無粉塵等。

以上是一些常見的劃片機系列,每種劃片機都有其特點和適用范圍。需要根據具體的切割材料和要求來選擇合適的劃片機類型。

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