2022-07-01 0
晶圓劃片切割中，總會遇到各種情況，而最常見的就是工件的崩邊問題，崩邊包括：正崩，背崩，掉角及裂痕等。而有很多種不同因素都會導致崩邊的產生，比如工件表面情況、粘膜情況、冷卻水、刀片等。
晶圓劃片如何提高切割品質
盡可能減少崩邊產生對劃片機來說是至關重要的，國產劃片機博捷芯半導體也一直在不斷地摸索各種材質的最優切割工藝，以提高切割品質并為客戶提供優質服務為己任。博捷芯半導體通過不斷開拓創新，提高劃片機切割不同材質的效率。精密晶圓劃片機切割已有比較完善的解決方案。
劃片機切割時工件表面有雜質或者本身材質不均勻，可能會導致刀片磨損不均勻而破損，從而導致崩邊的產生。粘膜的種類、厚度以及切割深度的不合適也都會導致工件崩邊。然而，冷卻水也是至關重要的，如果冷卻不夠充分，會影響刀片冷卻，那么切削能力也會受到影響，也非常容易產生崩邊。另外，選擇合適的刀片也是非常重要的環節，如果刀片顆粒度不適合，就能直接導致各種崩邊甚至掉角飛晶。
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