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劃片機(jī)是芯片切割制造流程中一個(gè)重要的環(huán)節(jié)

2022-08-16 0

芯片是非常精密的零件,生產(chǎn)過(guò)程中任何機(jī)器設(shè)備都要求非常高的精度,如果用人工去切割芯片,做出來(lái)百分之百就是報(bào)廢品,不可能實(shí)現(xiàn)人工切割。芯片切割也是制造流程中一個(gè)重要的環(huán)節(jié),屬于后端的工序,將一整片晶圓通過(guò)機(jī)器分割成單個(gè)的晶片。 最早的方法是用劃片機(jī)進(jìn)行分割,也是現(xiàn)在主流的方法,像非集成電路的晶圓分割,就采用了金剛石砂輪來(lái)進(jìn)行切割。



晶圓的大部分材料都是由硅組成,這種物質(zhì)比較脆和硬,切割刀片上的鉆石顆粒對(duì)切割的位置進(jìn)行撞擊,將接觸面粉碎處理,再將粉末清除,完成以后再將芯片超聲清潔進(jìn)入下一道工序。 在操作的過(guò)程中,由于設(shè)備的轉(zhuǎn)速和金屬直接接觸材質(zhì),晶體容易產(chǎn)生崩碎的問(wèn)題。



芯片切割最主要的是刀片,再鋒利的刀片都會(huì)有厚度,這樣就會(huì)增加晶圓的劃片線,最好是要選擇最小切割線在25~30微米之間的刀片。刀具都是由機(jī)器控制,力度不容易掌控,晶圓太薄也不好操作,像100微米以下的晶圓在切割的時(shí)候就容易破碎。




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