晶圓劃片切割中,總會遇到各種情況,而最常見的就是工件的崩邊問題,崩邊包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多種不同因素都會導致崩邊的產生,比如工件表面情況、粘膜情況、冷卻水、刀片等。
公司創辦至今,一直將自主創新放在重要位置,并高度重視研發工作。2018年,國內外主流6英寸劃片機一直采用同步帶、渦輪蝸桿等機械輔助傳動轉臺方案。經過數月的調查和不斷的試驗,通過大量的數據積累和不斷的設計改進,博捷芯團隊成功地攻克了直驅電機轉角結構方案,使轉角定位精度及穩定性大幅度提高,一舉達到國際先進水平。在以公司精密劃片機型號LX-6366為代表(兼容6?12寸晶圓,雙頭切割,自動修復法蘭,CCD雙鏡頭,重復精...
博捷芯精密劃片機設備有多種類型:LX3252 6英寸精密劃片機、LX3352 12英寸精密劃片機、LX3356 8-12英寸兼容精密劃片機、LX6366全自動雙軸劃片機、LX6636全自動單軸劃片機。晶圓劃片機切割應用行業主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。
LX3352系列精密切割機滿足各種劃切需求可用于加工最大邊長為300 mm的方形工作物(特殊選配)。該設備標準配置了輸出功率為1.8 kW的主軸,還將高扭矩主軸(2.2 kW)作為特殊選配供用戶選擇,使用2.2 kW主軸,可裝配58mm或定制切割刀片,旋轉軸采用DD馬達驅動,采用進口超高精密滾柱型導軌和研磨級絲桿,雙鏡頭自動影像識別系統,能夠對硅或難加工材料進行切割加工。另外,作為特殊選配,還增加了適用于多工作物的對準功能。提...
精密劃片機是一種高精密設備,精度的穩定性、使用的安全性及可靠性都與工作的環境、維護保養息息相關。1 、環境與外圍要求劃片機必須安裝在無振動源,室內溫度為 20 、25 攝氏度的凈化間內,并配有氣源、水源、電源、排污口、抽霧裝置等。氣源要求是經過過濾、冷凝、卜燥潔凈的壓縮空氣,壓力不低于 0 . 5 入 IPa ,過濾精度大于 0 . 01 " m ,露點一 15℃ 、除去油分 99 . 5 %。主軸冷卻水建議用去離子水,壓力不低于 0 ....
硬脆材料劃片的實現依賴于銳利的金剛石刀片和高精度、高剛性的劃片裝置,以及高精度的空氣靜壓主軸等來實現。在了解硬脆材料的性能和劃片機理的基礎上,作為設備制造廠家對硬脆材料劃片工藝的研究,就顯得十分必要和緊迫,對工藝參數的研究和優化,能夠支持設備及半導體行業的發展。砂輪劃片機的劃片質量和劃片效率,與劃片工藝參數有十分密切的關系.在劃片硬脆材料中,劃切道寬度與崩邊的大小,主要是受主軸轉速、刀片、劃片速度...
一、精密劃片機行業介紹劃片機是使用刀片或通過激光等方式高精度切割被加工物的裝置,是半導體后道封測中晶圓切割和WLP切割環節的關鍵設備。隨著集成電路沿大規模方向發展,劃片工藝呈現愈發精細化、高效化的趨勢。從19世紀60年代采用劃線加工法依賴于人工操作的金剛刀劃片機,到1968年英國LP公司發明的金剛石砂輪劃片機采用研磨的工藝替代了傳統的劃線斷裂工藝,再到后續的自動化劃片機進一步提升了劃片的效率。目前劃片機廣...
博捷芯晶圓切割機:從磨砂處理到芯片“誕生”晶圓切割也叫劃片,是將晶圓經過磨砂處理后,切割成一個個單獨的芯片,為后續工序做準備的過程。晶圓切割機首先要進行磨砂工序,去除在前端工藝中受化學污染的部分,減少晶圓厚度;在進行磨砂處理之前,需將UV膠帶覆蓋在晶圓正面,這樣可以避免晶圓在切割過程中受到損傷;UV膠帶黏著性高,可以防止晶圓脫落,之后用真空卡盤桌吸住,研磨晶圓的背面使其變薄。在磨砂處理后,繼續在晶圓...
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